国产直线电机_直线电机_PM中国

缺陷检测/粒子扫描

Aerotech 的超流畅线性空气轴承运动系统和高性能旋转平

台是宏观缺陷、粒子污染以及一般缺陷测量的**选择。

高速线性匹配旋转平台与先进的运动控制器搭配使用，圆形直线电机，

可实现精的高产能测量。无论是简单的“轮幅”运动，

还是严格控制的螺旋检查轮廓，Aerotech 均可提供

优的平台组合。

缺陷检测/粒子扫描

Aerotech 的超流畅线性空气轴承运动系统和高性能旋转平

台是宏观缺陷、粒子污染以及一般缺陷测量的**选择。

高速线性匹配旋转平台与先进的运动控制器搭配使用，

可实现确的高产能测量。无论是简单的“轮幅”运动，直线电机，

还是严格控制的螺旋检查轮廓，Aerotech 均可提供

优的平台组合。

解决方案

Aerotech ABL9000 可从X 和Y 方向进行锁定，国产直线电机，

大大提高长时间内的定位稳定性。此外，我们

还设计了专门的方法，可在保持定位信息的同

时控制锁定程序。这样可确保无论在何种锁定

状态下用户始终知道样品的定位位置。

我们还提供特殊的校准方法来提高XY 平台系

统工作面上的解锁和锁定准确度。这些方法不

仅可减少定位误差，还可减少θ X、θ Y 和θ Z

方向的旋转所造成的X 和Y 方向误差